โครงสร้างของวงแหวนลมอัตโนมัติใช้วิธีระบายอากาศแบบคู่ ซึ่งปริมาณอากาศของช่องระบายอากาศด้านล่างจะคงที่ และเส้นรอบวงของช่องระบายอากาศด้านบนแบ่งออกเป็นท่ออากาศหลายท่อ ท่ออากาศแต่ละท่อประกอบด้วยช่องลม วาล์ว มอเตอร์ ฯลฯ และมอเตอร์จะขับเคลื่อนวาล์วเพื่อปรับการเปิดท่ออากาศ ควบคุมปริมาณอากาศของท่ออากาศแต่ละท่อ
ในระหว่างขั้นตอนการควบคุม สัญญาณความหนาของฟิล์มที่ตรวจพบโดยโพรบวัดความหนาจะถูกส่งไปยังคอมพิวเตอร์ คอมพิวเตอร์จะเปรียบเทียบสัญญาณความหนากับความหนาเฉลี่ยที่ตั้งไว้ในปัจจุบัน คำนวณตามส่วนเบี่ยงเบนความหนาและแนวโน้มการเปลี่ยนเส้นโค้ง และควบคุมมอเตอร์เพื่อขับเคลื่อนวาล์วให้เคลื่อนที่ เมื่อมีขนาดบาง มอเตอร์จะเคลื่อนที่ไปข้างหน้าและปิดทูเยเร ในทางตรงกันข้าม มอเตอร์จะเคลื่อนที่ไปในทิศทางย้อนกลับและทูเยเร่จะเพิ่มขึ้น โดยการเปลี่ยนปริมาณอากาศที่แต่ละจุดบนเส้นรอบวงของวงแหวนลม ปรับความเร็วการระบายความร้อนของแต่ละจุดเพื่อควบคุมการเบี่ยงเบนความหนาด้านข้างของฟิล์มภายในช่วงเป้าหมาย
